避免台積電瑕疵光阻液事件重演,宜特科技推液態材料缺陷檢測

1 月底,晶圓代工龍頭台積電位於南科的 14B 廠發生了因為使用不合規定的光阻液,造成大量晶圓瑕疵而報廢的事件 […]

source https://technews.tw/2019/03/05/ist-sem-service/