台積電導入低耗能管路加熱系統，估年省 8,000 萬度電

台積電將低耗能管路加熱系統導入先進製程，成功使機台加熱管減少約 25% 能耗，預計民國 114 年將導入台灣全 […]

source https://technews.tw/2020/12/31/tsmc-introduces-low-energy-consumption-pipeline-heating-system/